Page 83 - 空气污染控制与微粉捕集技术
P. 83
第三章 除尘器
图 3-11 总单纤维收集效率（D f =10 μm，α=0.03）
空气过滤器有两种类型：一次性和可再生。对于前一种类型，用纤维材料，
如玻璃、金属、天然纤维和合成纤维所制作的滤袋松散地包装在一个框架或一个
席子状结构上。由于被捕获的颗粒在过滤器内部积聚，其压降随过滤时间的增加
而增大，因此采用锯齿状结构，增加过滤面积，延长使用寿命。当压降达到一定
水平时，为了避免增加运行成本，必须定期进行更换。后一种过滤器定期更新部
分或全部过滤面，也可避免压降增大。高效微粒空气过滤器（HEPA）和超低穿
透空气过滤器（ULPA）是指由平均小于1μm的极细纤维组成的高密度纸质过滤器。
前者的收尘效率高达 99.7% 时可收集 0.3μm 的颗粒；后者在效率高于 99.9997%
时可收集 0.1μm 颗粒，气体流速为 2~5cm/s 时压降不超过 12.7mm H 2 O 的过滤器。
因此，为了创造半导体、精密机械等行业所需要的高净化环境，必须使用 HEPA
和 ULPA 过滤器。
HEPA 和 ULPA 滤光片的穿透曲线随粒径的增大呈凸形，最大值出现在 0.1μm
左右。在常规过滤条件下，在该粒径附近，过滤器的收集效率最差，且随着过滤
速度的增加而降低）。因此，可以通过测量这个大小范围内的效率来粗略评估过
滤器的收集性能。
静电纤维过滤器是另一种利用静电力去除颗粒的空气过滤器。当纤维或粒子
73
