Page 109 - 现代工业绿色技术创新研究

第三章 电子化学品绿色生产技术及质量控制

三、电子化学品生产过程中废气处理技术的创新与应用

（一）电子化学品生产过程中废气的危害
电子化学品主要指在电子工业中所使用的化学材料、化学品等，包括电子元

器件、工业类整机生产和包装使用的化学材料、印刷线路板等。随着现代微细加
工技术的发展，衍生出了用于不同环节的化学品，如电镀化学品、光致抗蚀剂、
酸及腐蚀剂等，为电子通信、家用电器、汽车电子、航空航天等行业提供了重要

的产品支持。然而，在电子化学品的生产过程中，会使用大量的化学材料，包括
清洗剂、抗蚀剂、电镀铜镀液等各种有害物质，也会产生相应的废物、废气等。
若直接排放这些废弃的有害化学材料、产生的废气等，将给生态环境甚至人类健
康带来较为严重的危害。
1. 废气对人体的危害

电子化学品生产过程中会排放出大量的 VOCs（挥发性有机物），该物质具
有较强的刺激性和毒性，会引发人体患上鼻炎、肺炎，甚至癌症。例如，液晶面
板的生产过程中，会使用到盐酸、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙酮、氢氧化钾等化学

品，若人体接触这些化学品，则会受到严重损伤，尤其是当这些化学品与空气中
的物质发生化学反应（如与氮氧化物反应）而产生光化学烟雾等气体时，会损伤
人体的呼吸系统。
2. 废气对植物的危害
电子化学品生产过程中产生的废气会造成大气中硫化物、氟化物等气体含量

增加。当这些物质的含量超过一定值时，就可能给周围的植物带来严重的危害，
造成植物病变甚至死亡。
3. 废气对生态气候的危害

电子化学品生产过程中产生的废气若大量排放，不仅会影响空气质量，还增
加了二氧化碳等温室气体的含量，从而引起温室效应，导致全球气候变化，如气
温升高、冰川融化、形成酸雨、造成雾霾天气等，进一步破坏人类、动物等的生
存环境，并侵蚀建筑、农作物等，危害全球生态环境。
（二）电子化学品生产中废气处理技术

1. 吸附法
吸附法利用吸附剂（如活性炭、沸石等）表面的孔隙结构将吸收到的废气分

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