Page 235 - 水资源保护技术与方法

Water Resources Protection Technology and Methods
水资源保护技术与方法

3. 处理效果
经处理后，出水氟离子浓度稳定降至 1mg/L 以下，pH 值保持在 6~9 之间，铬、
镍等重金属离子浓度均低于 GB8978—1996《污水综合排放标准》中的一级标准。

该项目运行三年来，累计减少氟离子排放超 500t，实现了废水的达标排放和部分
水资源的回用，取得了良好的环境效益和经济效益。
（二）电子芯片制造企业氢氟酸废水处理项目
1. 废水特性

该企业生产过程中产生的氢氟酸废水具有水量小（每日约 30t）、浓度高的
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特点，F 浓度可达 12000mg/L，同时含有光刻胶、显影液等有机污染物，COD
浓度为 500~800mg/L。

2. 工艺方案
采用“预处理—纳滤—反渗透”工艺。预处理阶段，先通过调节 pH 值至
7~8，投加聚合氯化铝和聚丙烯酰胺进行混凝沉淀，去除大部分悬浮物和有机物；
然后经砂滤和活性炭过滤进一步净化水质。纳滤膜对氟离子和有机污染物进行截
留，反渗透膜对纳滤产水进行深度处理。产水回用于芯片清洗工序，浓水进入蒸

发浓缩系统，残渣作为危险废物处理。
3. 运行效益
项目运行后，废水回用率达到 85% 以上，每年节约新鲜用水量 8 万吨，减
少废水排放约 6.8 万吨。同时，企业每年节省水费和污水处理费用超 800 万元，

实现了环境效益和经济效益的双赢。此外，该项目还通过了 ISO14001 环境管理
体系认证，提升了企业的环保形象。

四、氢氟酸废水处理技术发展挑战与趋势

（一）面临的挑战
1. 处理成本高
氢氟酸废水处理的各个环节均需大量资金投入。中和沉淀法产生的含氟污泥
处置费用高昂，每吨污泥的处置成本达 800~1200 元；吸附法中吸附剂的更换和再

生成本也不容小觑，以活性氧化铝为例，其再生成本约为 200~300 元 /t。膜分离法
虽然处理效果好，但膜组件价格昂贵，一套处理规模为 100t/ 天的反渗透膜系统，
膜组件更换成本高达 50~80 万元，且膜的清洗和维护费用每年约 10~15 万元。

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