Page 89 - 机械自动化设计与制造研究
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第二章 半导体生产自动化
代后，随着非晶态半导体物理的发展，人们制成了非晶态半导体开关器件及计算
机存储器件。在对半导体超晶格的研究过程中，制成了量子阱激光器、光双稳器
件、高电子迁移率晶体管、共振隧穿器件等纳米量子器件。21 世纪以低维半导
体技术为中心给人类工业带来一个全新的纳米时代。半导体物理的发展为新的半
导体器件的研制提供了可能，这些器件在人们的生产、生活领域发挥着巨大的、
不可替代的作用，而半导体器件的生产和销售所获得的巨大利润又为半导体物理
的基础研究提供了物质保障条件。同时随着微电子、计算机等领域的发展，进一
步提出对新的半导体器件的需求，又将大大促进半导体物理的发展。
总之，晶体管等半导体器件的发明源于社会需求导向的牵引，是科学推力
和需求拉力相结合的硕果。虽然新技术的产生直接来源于科学研究的探索，但科
学研究项目的决策、组织都体现着潜在的需求。通过有效的组织能够把科学推力
和需求拉力结合在一起，即把科学研究可能带来的新进展和技术本身的发展需求
联系在一起。这需要学术界和产业界广泛而深入的合作，使科学研究的应用潜力
能够与社会经济发展的重要领域相结合，这是科学技术得以快速发展的原动力。
第二节 半导体生产线动态调度方法
半导体生产线一般由上百个工作站组成。从理论上说，为半导体生产线的
每个工作站预先进行工件调度是没有困难的，而在实际中，由于系统的动态变化
是不可行的，动态调度对改善半导体生产线的性能起着重要作用。半导体生产线
目前最常用的动态调度方法仍是使用调度规则。
生产率、加工周期与在制品水平是半导体生产线最重要的评价指标，受调
度规则的影响很大，并且对半导体生产线的准时交货率有着最直接的影响。在当
今动态变化的市场环境下，能否按期交出客户所需产品已成为企业是否能在市场
中生存的重要因素。目前，有许多学者使用不同的调度规则对瓶颈工作站进行优
化“门，但是找到优化整个半导体生产线性能（如生产率、加工周期以及在制品
水平等）的调度规则非常困难，并且即使对半导体生产线的整体性能进行优化，
也不能同时优化这三个性能指标。Dabbas 与 Fowler 提出了一种组合式调度规则，
用来同时优化调度中存在的多个目标，其基本思想是将各种不同的调度规则使用
不同的权重进行组合，以同时获得多个目标的优化，但是如何确定调度规则的
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