Page 91 - 机械自动化设计与制造研究

第二章 半导体生产自动化

调度，还考虑了多批加工设备的调度与紧急工件的调度。
（一）瓶颈设备的调度规则
瓶颈设备的调度目标是充分利用瓶颈设备的能力，即瓶颈设备要避免饥
饿，因此，调度规则必须控制瓶颈设备的在制品水平不低于最低允许值（Lowest
Limited Value，LLV），该值可由半导体生产线的实际运行数据统计分析得出。

（二）非瓶颈设备的调度规则
非瓶颈设备的调度目标与瓶颈设备的调度相配合，即尽量避免瓶颈设备饥
饿。因此，调度规则必须控制非瓶颈设备的在制品水平不超过最高允许值（Highest

Limited Value，HLV），该值也是由半导体生产线的实际运行数据分析得出。显然，
当非瓶颈设备的在制品水平较高时，要控制下步在此设备上加工的工件在其上游
设备的加工优先级较低，以维持非瓶颈设备的在制品水平较低。
（三）多批加工设备的调度规则
多批加工设备的调度目标是使总的准备时间和能力损耗最小，因而要求只

有排队工件达到最大加工批量时，多批加工设备才开始进行加工。然而，这可能
导致较长的工件等待时间。因此，多批加工设备的调度规则的思路是：如果瓶颈
设备的在制品水平较低，并且瓶颈设备的上游设备是多批加工设备，则必须首先

满足瓶颈设备的加工要求，而不考虑节省准备时间；否则，必须在排队工件数达
到最大加工批量时才开始加工。
（四）紧急工件的调度规则
为了保证订单的按期交付，由于市场需求的变化、订单的到来以及工件的
返工引起的紧急工件，不论在瓶颈设备还是非瓶颈设备，都要赋予最高的优先级，

最先得到加工。
另外，还需要注意两个问题。一是在半导体生产线中，不同的工件加工次
序可能会导致不同的准备时间，而工件的交货期又可能不尽相同，这就要求在进

行调度时要将工件的交货期与带有次序相关的准备时间加以综合考虑。当工件的
交货期较短时，显然要首先满足交货期的要求，优先加工交货期较短的工件；如
果交货期较长，则要首先考虑如何降低总的加工周期，选择总的准备时间较短的
加工次序对工件进行加工。二是在半导体生产线中，设备群的概念比设备的概念
更普遍。设备群是指多台具有相同功能的设备并行运作，这就出现了选择设备群

中的哪台设备作为工件加工设备的调度问题。这里采取的规则是将工件的排队等

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