Page 97 - 现代工业绿色技术创新研究

第三章 电子化学品绿色生产技术及质量控制

生产技术的应用，将该理念全面的渗透到电子化学品的研发以及生产当中，从而
更好的促进电子化学品事业实现清洁化生产目标。

2. 实施策略以及相应政策建议
应增强政府的引导以及行业间的管理。通过有效的制定合理的产业结构调整
计划，也要确保相应产业政策的完善性。而对于产业的内迁趋势来说，要合理的
推动建设出新的电子材料以及元器件产业区域，从而为相应地位获得相关优惠政
策提供保障。也要有效的通过行业准入的约束形式，要对涉及到环境保护以及应

用安全产业的，例如，铿离子电池和印制电路等行业，必须要加强管理水平，并
对其余的规模化和发展进行监督，从而更好的促进节能环保理念在产品生产中全
面落实，为行业发展奠定坚实基础。也要进一步提升产业的创新能力和人才培养
水平。在对电子材料和元器件行业进行创新时，要建立完善的公共服务平台体系，

从而促进企业创新工作更好开展。行业也要将其专业人才的培养，从而更好的为
电子化学品的发展培养更多优秀人才，为该行业的发展奠定坚实有利的基础。

第二节 电子化学品性能要求及绿色生产技术

一、电子化学品的质量规格及标准

（一）电子化学品的质量标准的演变
为了能够规范世界超净高纯试剂的标准，SEMI（Semiconductor Equipmentand

Materials International，国际半导体设备和材料协会）于 1975 年成立了 SEMI 化
学试剂标准化委员会，专门制定、规范超净高纯试剂的国际统一标准 -SEMI 标准。
1978 年，德国的伊默克公司也制定了 MOS 标准。两种标准对超净高纯化学品中

金属杂质和（尘埃）微粒的要求各有侧重，分别适用于不同级别 IC 的制作要求。
国际上公认的电子化学品的标准大致可分为四类：一类是以 SEMI 为基础的
美国试剂标准；一类是以德国 E.Merdk 标准为主的欧洲试剂标准；一类是以日本
关东化学（Kanto）公司、和光纯药工业（Wako）公司的湿电子化学品为代表的

日本试剂标准；另一类则是以 REA 公司为代表的俄罗斯试剂标准。ULSI 在全球
的快速发展使得这些标准的指标有逐步接近的趋势，但 SEMI 标准更早取得世界
范围内的普遍认可。

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