Page 99 - 现代工业绿色技术创新研究

第三章 电子化学品绿色生产技术及质量控制

成品包装控制等各个环节。
目前，国际上制备 SEMI-C1 到 SEMI-C12 级电子化学品的技术都已经趋于
成熟。随着集成电路制作要求的提高，对工艺中所需的湿电子化学品纯度的要求

也不断提高。从技术趋势上看，满足纳米级集成电路加工需求是超净高纯试剂今
后发展方向之一。
（三）国内电子化学品标准
国内的电子化学品档次比较低，有的企业拥有自己的企业标准。20 世纪 90

年代中后期，国内当时生产、研制湿电子化学品最大的机构一北京化学试剂所曾
提出了 BV 系列标准。此标准当时以至现今仍对国内湿电子化学品标准有着不小
的影响。BV 系列标准按 BV-I、BV-II、和 BV-III 等来划分，具体见表 3-2。

表 3-2 国内半导体用湿电子化学品 BV 系列标准的品种分等级的规格
品级 尘埃粒径 尘埃粒子数 金属杂质含量 适用于半导体 IC
低尘埃 5-10μm ＞ 2700 个 /100ml — ≥ 5C
MOS 级 ≥ 5μm ≤ 2700 个 /100ml ≤ 1ppm ≥ 3μm
BV- Ⅰ级 ≥ 2μm ≤ 300 个 /100ml 1-nx10ppb ＞ 2μm
BV- Ⅱ级 ≥ 2μm ≤ 200 个 /100ml 1-nx10ppb ≥ 1.2μm
BV- Ⅲ级 ≥ 0.5μm ≤ 25 个 /1ml ≤ 10ppb 0.8-1.2μm
BV- Ⅳ级 ≥ 0.5μm ≤ 5 个 /1ml ≤ 1ppb 0.2-0.6μm
BV- Ⅴ级 ≥ 0.2μm TBD ≤ 0.1ppb 0.09-0.2μm

我国还有部分企业采用的电子化学试剂按照纯度划分的三个等级：UP-S 级、
UP 级、EL 级三个等级。
1.UP-S 级
UP-S 级适用 0.35~0.8 微米集成电路加工工艺，金属杂质含量小于 1ppb，经

过 0.05 微米孔径过滤器过滤，控制 0.2 微米粒子，在 100 级净化环境中灌装达到
SEMI C8 标准。
2.UP 级
UP 级适用 1 微米集成电路及 TFT-LCD 制造工艺，金属杂质含量小于 10ppb，

经过 0.2 微米孔径过滤器过滤，控制 0.5 微米粒子，在 100 级净化环境中灌装，
达到 SEMIC7 标准。
3.EL 级
EL 级金属杂质含量小于 100ppb，控制 1 微米粒径粒子，达到 SEMIC1、C2

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