Page 98 - 现代工业绿色技术创新研究

Research on Innovation of Modern Industrial Green Technology
现代工业绿色技术创新研究

目前世界及我国的电子化学品产品通常执行 SEMI 国际标准，其关键技术指
标包括单项金属离子，单项阴离子，颗粒数等，另外根据不同产品特点会相应增
加其它一些技术指标。

（二）电子化学品 SEMI 标准
进入 21 世纪，国际 SEMI 标准化组织又根据电子化学品在世界范围内的实
际发展情况对原有的分类体系进行了归并，按品种进行分类，每个品种归并为一
个指导性的标准，其中包括多个用于不同工艺技术的等级。表 3-1 列出了 IC 制

造的不同线宽对湿电子化学品 SEMI 国际标准等级的要求。

表 3-1 电子化学品 SEMI 国际标准等级
SEMI 等级 IC 线宽（μm） 金属杂质 10 -9 控制粒径（μm） 颗粒（个 /MI）
C1（Grade1） ＞ 1.2 ≤ 1000（1ppm） ≤ 1.0 ≤ 25
C7（Grade2） 0.8-1.2 ≤ 10（10ppb） ≤ 0.5 ≤ 25
C8（Grade3） 0.2-0.6 ≤ 1.0（1ppb） ≤ 0.5 ≤ 5
C12（Grade4） 0.09-0.2 ≤ 0.1（0.1ppb） ≤ 0.2

从表 3-1 中可以看出，对应集成电路不同技术水平，所需要电子化学品的
标准越高，纯度和洁净度的要求也就越高。如果给电子化学品分级别或档次的
话，那么用于≥ 1.2μm 属于低档产品（需采用 SEMIC1 等级的湿电子化学品），
0.8~1.2μm 属于中低档产品（需采用 SEMIC7 等级的电子化学品），0.2~0.6μm
属于中高档产品（需采用 SEMIC8 等级的电子化学品）。0.09~0.2μm 和＜ 0.09μm

则属于高档产品（需采用 SEMIC12 等级的电子化学品），其中≥ 1.2μm 和
0.8~1.2μm 的硅片主要用于制作分立器件：0.2~0.6μm 和 0.09~0.2μm 的硅片主要
用于大规模集成电路和超大规模集成电路制造中。

可以看出，电子化学品制备的关键在于控制并达到其所要求的杂质含量和颗
粒度。为使超净高纯试剂的质量达到要求，需从多个方面同时进行保障，包括试
剂的提纯、包装、供应系统及分析方法等。目前，国际上普遍使用的提纯工艺有
十余种，它们适用于不同成分、不同要求的超净高纯试剂的生产，例如，蒸馏、

精馏、连续精馏、盐熔精馏、共沸精馏、亚沸腾蒸馏、等温蒸馏、减压蒸馏、升
华、化学处理、气体吸收等。超净高纯试剂在运输过程中极易受污染，所以超净
高纯试剂的包装及供应方式是电子化学品使用的重要一环。特别是颗粒控制的相
关技术，它贯穿于超净高纯试剂生产、运输的始终，包括环境控制、工艺控制、

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