Page 254 - 水资源保护技术与方法
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第十章 展望未来超纯水技术
第十章 展望未来超纯水技术
第一节 超纯水制备工艺技术
超纯水，作为一种几乎去除了所有杂质和离子的高纯度水，在电子、制药、
化工等众多领域发挥着至关重要的作用。随着科技的不断进步，各行业对超纯水
的质量和产量需求日益增加，这也促使超纯水制备工艺技术不断发展和创新。本
文将详细介绍超纯水制备的工艺技术，包括其原理、常见工艺以及未来发展趋势。
一、超纯水的定义与应用领域
（一）超纯水的定义
超纯水是指电阻率达到 18MΩ×cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，
几乎没有其他杂质，如细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，以及人体所需的矿物
质和微量元素。其纯度极高，是一般纯水所无法比拟的。
（二）超纯水的应用领域
电子行业：在半导体芯片制造过程中，超纯水用于清洗硅片、光刻胶等关键
部件。哪怕是极微量的杂质或离子，都可能导致芯片短路、性能下降等问题，因
此对超纯水的纯度要求极高。
制药行业：超纯水是药品生产过程中的重要原料，用于药物制剂的配制、设
备的清洗等。高纯度的水可以保证药品的质量和安全性，避免杂质对药品疗效产
生影响。
化工行业：在一些精细化工产品的生产中，超纯水作为反应介质或溶剂，能
够确保化学反应的准确性和稳定性，提高产品的质量和纯度。
二、超纯水制备的基本原理
超纯水制备的核心目标是去除水中的各种杂质和离子，使其达到极高的纯度。
常见的杂质包括悬浮物、胶体、有机物、微生物以及各种阴阳离子等。根据杂质
的性质和去除方法的不同，超纯水制备通常涉及以下几个基本原理。
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