Page 218 - 新时期广播电视工程技术研究
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新时期广播电视工程技术研究
Research on Broadcasting and Television Engineering Technology in the New Era
与水利资源的调查、矿藏的探测以及海洋污染的监测等。因此，微波遥感已成为
人类探测地球资源等的一种新的手段。
三、现代微波技术的发展
现代微波 / 毫米波技术的发展日新月异，要用有限的篇幅涵盖其发展现状并
非易事，当然也无必要。下面仅就目前最为活跃的热点作简单概述。
自从 20 世纪 60 年代以来，以微带线为代表的微波与毫米波混合集成技术以
其结构紧凑、体积小、重量轻、造价低以及便于同有源器件相连等优点而得到迅
速发展，而各种新型集成介质传输线 ( 如共面波导、悬置微带线、槽线以及鳍线
等 )、各种介质波导 [ 如镜像线、H 波导、无辐射介质波导 (NRD 波导 ) 以及 G
波导等 ] 以及各种结构的谐振器 / 谐振腔的使用大大推动了微波与毫米波混合集
成电路 (MIC) 的发展。与此同时，随着微波与毫米波集成电路加工工艺的进一步
成熟，将大量有源器件和无源元件 / 组件或模块集成于一块集成电路的微波与毫
米波单片集成电路 (MMIC)，不仅进一步减小系统体积，降低加工成本，而且提
高了系统的功能和可靠性，从而使微波与毫米波集成技术的应用范围不断扩大，
拓展到当今众多的军用和民用的高科技领域。
近年来，低温共烧陶瓷 (LTCC) 工艺、微电子机械系统 (MEMS) 技术以及液
晶聚合物 (LCP) 工艺被认为是微波与毫米波电路集成能力的关键技术。其中，
MEMS 技术采用半导体工艺而具有精度优势，设计的电路元件或组件其工作频
率可高达 200GHz 以上，但成本相对较高；LTCC 工艺具有尺寸小、可靠性高以
及成本适中等优点，已受到广泛关注；LCP 工艺则由于具有近乎恒定的低介电常
数 ( 低于 110GHz 频段 )、损耗小、低成本以及热稳定系数高、吸湿率低等优势，
是一种十分新颖以及具有应用前景的微波与毫米波高集成度电路的加工工艺，同
样受到人们的格外关注。同时，近些年来，基片集成波导 (SIW) 在微波与毫米波
集成电路中的应用同样受到人们的重视。基片集成波导完全集成于介质基片中，
它具有与矩形 ( 金属 ) 波导相似的传输特性且可利用传统的 PCB 加工技术来实
现 SIW 及其电路、系统，因其设计成本和生产成本比较低廉，从而很适合于微
波与毫米波集成系统的应用。此外，随着微波与毫米波无源集成电路中电子带隙
(EBG)、缺陷地结构 (DGS)、频率选择表面 (FSS)、人工电磁材料 ( 左手材料，如
SRR，CSRR) 等新型电路结构以及高温超导技术 (HTS) 的不断提出和应用，大大
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