Page 21 - 计量测试技术分析

第一章 计量测试概述及技术应用

其所表现出的准确性及规范性优势也正日益凸显，因而广受推崇。由于衰减是
无线电计量检测中最基本的参量，它不仅可以检测出传输过程中的无线电信号
振幅减弱的情况，而且还可以检测出不同传输线、电算化元件、电算化装置以及

系统的传输特征，对于电算化设施计量的标准化检测环节有着无可比拟的应用
价值。

计量检测过程技术性、系统性特征较为明显，且影响检测结果的各项因素
并非独立存在，而是密切相关，因此通过运用标准化方法，对检测过程中的每一
处细节进行合理把控，并施以高效管理手段，才能保证检验机构质量检测体系始
终处于可控状态，进而从根本上杜绝检测对象出现不合格现象。只有这样，计量

检测机构针对检测对象所出具的产品（证书、报告、服务等）质量才能顺应社会
发展趋势，满足消费者实质需求，从而高效、精准地践行国家所赋予的“量值传
递”职能，确保质量检测更好地服务于中国经济发展进程，推动经济社会高质量

发展。

第二节 国外 MEMS 计量测试技术研究现状及借鉴

微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）发展于 20 世纪 90

年代，是在微电子制造技术发展的基础上随着精密微型机械制造技术的发展而成
长起来的。基于 MEMS 技术的器件具有体积小、精度高、智能化、成本低和可
批量生产等特点，在航空航天、生物医学、汽车、电子等众多领域的应用日渐广
泛和深入。MEMS 技术作为一项重要的军民两用技术，是 21 世纪最有发展前途

的技术之一。经过二十年的发展，相较于集成电路（Integrated Circuit，IC）产业，
MEMS 产业依旧不太成熟。不同于 IC 产业，MEMS 产品跨越机械、电磁、光学、

化学、生物等多个领域，MEMS 的计量测试研究工作不能仅仅在原有 IC 计量研
究上做简单的改进，需要综合电子、机械、材料、信息、物理、化学、光学以及
生物医学等多门学科与技术，根据 MEMS 自身的特点开展 MEMS 计量测试技术
研究。近年来，世界各国加强了对 MEMS 计量测试技术的研究，适用于 MEMS

的计量测试方法和仪器不断涌现。学习和借鉴国外的 MEMS 计量测试技术，对
中国 MEMS 计量测试技术的发展具有重要的指引作用。

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