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计量测试技术分析
Analysis of Measurement and Testing Technology

级研究计划局（Defense Advanced Research Projects Agency，DARPA）支持下，
详细研究了 MEMS 的可靠性问题，并发布了《MEMS 可靠性：基本单元、测试
结构、试验和失效模式》。该报告以失效分析为基础，建立MEMS的合格评定模式。

同时，该报告阐述了在 MEMS 器件上开发测试结构进行可靠性试验的重要性，
并设计、表征了可靠性测试结构。此外，该报告还研究了 MEMS 器件的失效模式，
特别是在不同环境（湿度、温度、冲击、振动和储存）中的失效模式，建立了未
来 MEMS 器件的可靠性设计规则。

二、中国 MEMS 计量测试的参考借鉴

（一）计量测试规划方面
中国必须遵守 IEC 国际标准、SEMI 标准等，目前，中国 MEMS 计量测试

在发展规划方面可以从以下几个方面参考借鉴国外 MEMS 计量测试技术：第
一，国际计量组织和机构花费大量精力专注于 MEMS 计量测试技术研究，相应
的资料可以为我们参考借鉴；第二，借鉴国外 MEMS 计量测试技术，结合中国
MEMS 计量测试建设的具体情况，加强 MEMS 计量测试技术的发展规划布局；

第三，参考 EURAMET 的“2015 版 MEMS/NEMS 计量路线图”，研究制定中
国的“MEMS/NEMS 计量路线图”，建立适应中国 MEMS 计量测试技术发展的
“MEMS 计量体系表”；第四，结合中国现在快速发展的 MEMS 产业需求，对
未来二十年内 MEMS 产品需要的微材料特性测量方法、微结构测量方法、标准

物质等方面做出全面、详细的规划；第五，结合国内 MEMS 产业现状和发展要
求，制定一批具有指导意义的产品规范、测试方法和计量规范，有力支撑中国
MEMS 产业的发展。

（二）计量测试技术方面
MEMS 计量测试技术的重点工作是跟踪国际 MEMS 计量测试技术的前沿动
态，同时结合中国成熟的 MEMS 产品，及时对 MEMS 器件测试方法、规范进行
修订，建立完善的 MEMS 器件计量测试技术体系。在 MEMS 器件参数测试方面，
借鉴 IEC，SEMI 等标准，研究 MEMS 器件微材料特性、微结构（微器件）特性

的测量方法，结合中国主导制定的 IEC62047-25、IEC62047-41 等，研究适用于
MEMS 器件的具体测量方法，分析微材料特性、微结构参数变化对 MEMS 器件
性能和质量可靠性的影响，为 MEMS 器件产品质量评定标准、失效分析标准以

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