Page 25 - 计量测试技术分析

第一章 计量测试概述及技术应用

（五）国际电工技术委员会
国际电工技术委员会（International Electro-technical Commission，IEC）
非常重视 MEMS 标准化工作，将 MEMS 器件的标准归口在半导体器件委员会

（Technical Committee47，TC47）下。2008 年从 IEC/TC47 中独立出来一个新的
MEMS 分技术委员会——Sub-Technical Committee47F，简称 SC47F，负责制定
MEMS 器件标准。该分技术委员会负责制定 MEMS 的设计、制造、使用过程对
环境无害的国际标准，包括术语和定义、字母符号、基本额定值和特性、测量方

法、可靠性试验方法和材料测试方法等。下设有三个工作组：术语和图形符号工
作组、结构材料性能测试方法工作组、器件和封装工作组，还设有一个维护组。
目前，该技术委员会已发布 38 项 MEMS 标准，内容涵盖了 MEMS 的术语和定义、
通用规范、材料性能评价及测试方法等。

（六）半导体工艺和设备技术委员会
半导体工艺和设备技术委员会（Semiconductor Equipment and Mterials
International，SEMI）创立于 1970 年，是服务于微电子和纳电子行业制造供应
链的全球高科技领域专业行业协会。自 20 世纪 90 年代后期以来，SEMI 一直

致力于开发用于制造 MEMS 器件材料的标准测试方法，包括应变、膜厚度、弹
性模量和粘合强度的测量。SEMI 设立了 MEMS/NEMS 全球技术委员会来从事
MEMS 标准的制定。目前在 SEMI 的标准中，有 10 项关于 MEMS 器件的标准，
包括 MEMS 技术术语、封装和微流量器件等。由于 SEMI 在半导体设备材料方

面具有强大的影响力，其标准多作为业内主流的生产工艺规范，被广泛应用在
MEMS 工艺线上指导产品的生产。
（七）美国国家航空航天局
美国国家航空航天局（National Aeronautics and Space Administration，

NASA）火箭发射中心针对 MEMS 可靠性问题发布了 JPLPUB99-1《宇航用
MEMS 可靠性保证指南》，该指南详细介绍了与 MEMS 相关的材料属性、故障
机理、生产工艺技术、器件组织结构以及封装技术，并站在用户的角度提出了
用于空间环境的 MEMS 器件质量和可靠性的评价方法，解决了空间环境应用的

MEMS 器件标准质量评价问题。
（八）美国桑迪亚国家实验室
美国桑迪亚国家实验室（Sandia National Laboratories，SNL）在美国国防高

13