Page 27 - 计量测试技术分析

第一章 计量测试概述及技术应用

及制造过程质量保证方法提供基础。
在 MEMS 器件可靠性和寿命评价方面，借鉴 NASA，SNL 指南要求，研究
基于失效分析的质量保证方法，开展 MEMS 器件失效机理研究，建立失效模型，

研究动态环境（振动、冲击、高低温）下带电工作的MEMS器件实时性能测试方法，
开展 MEMS 器件加速寿命试验方法研究等方面的寿命评价。在 MEMS 器件晶圆

级测试方面，借鉴 NIST 的五合一标准样片，尽快制定 MEMS 器件晶圆级的测
试标准及纲要，尽快推进标准化进程。引导行业内部开发统一接口，统一测试方
法，搭建通用 MEMS 器件晶圆级测试平台，完善模块化的标准测试平台手段，
研制符合不同激励信号测试的标准物质，提升中国 MEMS 器件晶圆级测试的整

体水平。
（三）计量测试协同方面

MEMS 技术有许多共有特点，在进行军用 MEMS 计量测试技术研发的同
时，也要积极促进相关民用领域 MEMS 计量测试技术的进步，共同推进中国的
MEMS 计量测试技术的发展。在整个 MEMS 行业内充分发挥计量测试技术的基
础作用，加快技术到应用的进程、缩短产品周期、提升产品质量、降低设计、生

产等各个环节的成本，进而打破一些行业壁垒、提升产业生态环境、促进上下游
协同创新，推动整个产业的健康发展。借鉴 NIST、NPL 等计量机构的先进成果，

积极推进中国 MEMS 计量测试技术研究，加强军工部门与高校、科研院所、民
间计量机构的合作，推进 MEMS 计量基础技术的研究开发工作，同时加强产学
研三方合力，共同推进 MEMS 计量测试技术的发展。

第三节 电子衡器中的计量测试技术应用

随着国内电子衡器生产水平的不断提高，电子衡器生产行业也越来越繁荣，
中国所生产的电子计价秤出口范围很大，为了可以更好地保证电子计价秤的效果，
需要把计量测量方法用于电子衡器生产之中，进而保证电子计价秤的质量符合各
项要求。电子衡器还未出现之前，人们从事计量工作都是使用传统木质衡器，它

的标准刻度都是由人工量制的，因此测量精度会有较大的误差，甚至还会发生人
为造假的情况。20 世纪以来，随着传感技术的出现与发展，电子衡器逐渐出现

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