Page 205 - 机械设计制造与自动化技术研究

第七章 工业机器人

械手各个部件的可靠性，从而保证其满足 IC 制造的高要求。
（六）洁净机器人
随着半导体、电子、生物医药等行业的不断发展，人们越来越需要微型化、

精密化、高纯度化、高质量和高可靠性的洁净生产环境。洁净机器人就是一种工
作在洁净环境中用于完成特定物料搬运任务的工业机器人。特殊的用途和环境要
求洁净机器人必须满足以下要求：一是能够高速运行，以缩短系统整个制造过程
的时间，提高生产效率；二是运行时平稳无振动，能够控制空气中分子级别颗粒

飞舞造成的污染；三是运转精度高，能够提高晶圆加工的质量，保证正品率，降
低生产成本。
洁净机器人的关键技术包括：
机器人洁净润滑技术：通过采用负压抑尘结构和非挥发性润滑脂，实现机器

人工作时对环境无颗粒性污染，满足生产环境保持洁净的要求。
机器人平稳控制技术：通过轨迹优化和提高关节伺服性能，实现机器人在高
速搬运过程中的平稳性要求。
机器人小型化技术：通过实施机器人小型化技术，减小洁净机器人的占用空

间，以降低洁净室的建造成本和运营成本。
晶圆检测技术：采用光学传感器，通过机器人的扫描运动，获得卡匣中晶圆
有无缺片和倾斜等信息，保证高品质生产。
（七）码垛机器人

码垛机器人是典型的机电一体化高科技产品，它对企业提高生产效率、增进
经济效益、保证产品质量、改善劳动条件、优化作业布局的贡献非常大，其应用
的数量和质量标志着企业生产自动化的先进水平）。时至今日，机器人码垛是工
厂实现自动化生产的关键，是工业大生产发展的必然趋势，因而研制与推广高速、

高效、高智、可靠、节能的码垛机器人具有重大意义。
所谓机器人码垛作业就是按照集成化、单元化的思想，由机器人自动将输送
线或传送带上源源不断传输的物件按照一定的堆放模式，在预置货盘上一件件地
堆码成垛，实现单元化物垛的搬运、存储、装卸、运输等物流活动。码垛机器人

是一种专门用于自动化搬运码垛的工业机器人，替代人工搬运与码垛，能迅速提
高企业的生产效率和产量，同时还能显著减少人工搬运造成的差错。它可全天候
作业，可广泛应用于化工、饮料、食品、啤酒、塑料等生产企业；对各种纸箱、

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