Page 117 - 航空电子传感器技术的研究与应用

Research and Application of Avionics Sensor Technology
航空电子传感器技术的研究与应用

为一体的器件就称为微机械。微机械技术是一项系统性的技术，其不拘泥包括微
机械技术、微电子技术，同时还涵盖了数学、光学、量子力学、电子学、仿生学
等众多学科。从产品的角度来看，微机械技术指的是利用微制造技术所制造的微

机械，包括集成性器件、系统等等。微机械技术以现代科学技术为基础，其属于
纳米科学技术的范畴，是二十一世纪一项重要的技术，其在航空航天、国防、通
信等各个领域都有着重要的作用。
（二）微机械技术在航天传感器技术中的运用优势

微型化、智能化。当前，航天武器型号呈现出机动性、小型化的发展趋势，
例如小卫星、子弹头测控系统等，这就要求航天传感器更加微型化、智能化，采
用传统技术制造的航天传感器重量较大（一般在 50g ～ 100g 之间），要想实现
其体积和重量的减小势必会影响传感器的性能。此外，航天传感器的智能化发展

符合航天型号的发展需求和型号故障、安全检测的需求。微机械技术能够有效实
现航天传感器的智能化、微型化需求，打破了传统技术制造传感器的限制和弊端。
性价比高。微机械技术制造的产品性能十分优良，在制造航天微传感器的过
程中，能够实现多元件批量化生产，这就有效实现了传感器制造的经济性。相较

于传统技术制造的传感器来说，微传感器价格要低很多，当前，国外就已经出现
了许多物美价廉的军用航天微传感器，且其市场推广效果良好。
可靠性高。在制造航天传感器的过程中，一些敏感元件至关重要，传统技术
在制造这些敏感元件主要通过手工操作，这就难免会出现一些人工失误，使得传

感器一些关键元件的可靠性不高。利用微机械技术能够实现关键元件的批量生产，
各项制造参数十分准确、稳定，有效提升了航天传感器的性能稳定性和可靠性。
（三）微机械技术在航天传感器中运用的技术
后工序工艺技术。航天微传感器后工序工艺技术主要包括两个方面：①穿线

及密封技术：穿线及密封是织造航天微传感器的关键步骤，也是关键技术，其对
于提升航天微传感器的性能、成品率以及降低成本等方面都有着重要的作用。在
穿线及密封的过程中，涉及两种穿线方法，一种是横向穿线方法，首先利用掺杂
多晶硅做出外引线，之后对其进行高温处理，温度一般设置为 1100℃，在高温

状态下，磷硅玻璃会流动从而将表面填平，之后对多晶硅和钝化层淀积，将引线
孔开出，从而实现静电封接，通过横向穿线法能够将横向引线造成的不平整进行
填平处理，另外一种则是纵向穿线法，在封接之前，用电火花开出引线孔，之后

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