Page 118 - 航空电子传感器技术的研究与应用

第二章 航空电子传感器发展

进行封接，用蒸镀并将欧姆接触电极刻出来，利用导电胶连接外引线，从而实现
引线和密封；②真空密封：在真空环境下，静电封接很容易出现真空放电的问题，
这就给真空密封带来了一定的难度，在封接之后难以达到真空要求。

加工工艺技术。首先是深腐蚀加工工艺技术，传统的腐蚀方法有着一定局限
性，容易出现侧向腐蚀的问题，难以实现深度腐蚀，在航天传感器的制造过程中，
垂直壁的腐蚀深度要求达到 10μm 以上，这就需要依赖于深腐蚀加工工艺技术。
当前主要的深腐蚀加工工艺技术主要有 X 紫外线光敏聚酰亚胺技术和等离子刻

蚀垂直深槽技术，首先需要制作电镀磨具，之后对金属结构进行电镀。第二是表
面加工技术，将硅片作为衬底，将多晶硅层制作成微机械结构，这就能够实现将
集成电路和传感器在一个基片上进行制作，制作出的成品质量较小，且体积较小，
制作成本较低，经济性良好。第三是体加工技术，相较于表面加工技术来说，体

加工技术更加复杂，体加工技术能够保证机械性能良好，因此，在航天速度传感
器的制造中，体加工技术应用广泛。

三、低空经济传感器

低空经济是指在垂直高度 1000 米以下、根据实际需要延伸至不超过 3000 米
的低空空域范围内，以垂直起降型飞机和无人驾驶航空器为载体，以载人、载货
及其他作业等多场景低空飞行活动为牵引，带动相关领域融合发展的综合性经济
业态。

作为一个全新的产业形态，低空经济勾画出一个全新的产业链架构。4 月初，
工信部等四部门联合印发《通用航空装备创新应用实施方案（2024—2030 年）》，
其中明确提到，精准定位、感知避障、自主飞行、无缝通信与监视、数字导航、
智能化空域管理、低空智联网体系是产业关键技术，应急、物流、交通、娱乐消

费、农林巡检则是五大重点应用场景。
5G-A 带来的通感一体对于发展低空经济至关重要，今天我们的重点开始转
移到传感器上，这是实现无人机、直升机和 eVTOL（电动垂直起落飞行器）等
低空航空器重要的元器件之一。

（一）低空飞行器里的传感器需求
低空飞行器主要面向应急、物流、交通、娱乐消费、农林巡检五大场景，这
些场景中有大量的传感器需求，比如气象监测、遥感航拍、物品运输等，另外为

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