Page 61 - 印制电路板行业污染与治理
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第二章 印制电路板主要设备及产污介绍



               序号        工序        工艺类别             设备名称                 细部流程
                4        压合          共用              三次元                 三次元量测
                                     M-sap        Coreless 拆板机             拆板
                5    coreless 拆板                    前棕化线                  模块板
                                                     裁切机                  模块板
                                                    水平沉铜                沉铜 + 闪镀
                6        电镀         Tenting           VCP                  电镀
                                                   直立式烤箱                   烘烤
                                     共用           等离子清洗机                  plasma
                                     M-sap          垂直化铜                   化铜
                                     M-sap         酸洗前处理                  前处理
                                    Tenting        SPS 前处理                前处理
                                                     暂存机
                                                     预热机
                                                     粘尘机
                                     共用            一般压膜机                   压膜
                7        线路          共用               LDI                  曝光
                                     M-sap          垂直显影                   显影
                                     M-sap            VCP                图形电镀
                                     M-sap        一般水平退膜                   退膜
                                     M-sap         直立式烤箱                 插框烘烤
                                     M-sap          水平蚀刻                   闪蚀
                                    Tenting    二流体真空蚀刻 DES                 DES
                                     共用              三次元                三次元量测
                                     共用            盲孔漏镀检                盲孔漏镀检
                                     共用           AOI 光学检测              AOI 光学检测
                8        AOI
                                     共用           VRS 缺点检测             VRS 缺点检测
                                    Tenting        SPS 前处理              塞孔前处理
                                    Tenting        滚轮涂布机                   塞孔
                9      油墨塞孔         Tenting      CCD 自动曝光机               塞孔曝光
                                    Tenting        显影 + 刷磨             塞孔显影 + 刷磨
                                    Tenting        直立式烤箱                 塞孔烘烤
                                     共用              水平线                MEC 前处理
                        SMK          共用            滚轮涂布机                 滚轮涂布
                10
                         防焊                         真空压平                 真空压平
                                     共用               LDI                防焊曝光


                                                                                      51
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