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机械自动化设计与制造研究
Research on Mechanical Automation Design and Manufacturing
（二）EAP 功能模块
EAP 系统按照具体的功能可以将其具体的划分为多个不同的模块：首先，
作业的管理与控制模块，作用是对于批次信息和配方信息，物料信息与设备信息
等信息完成所需要的校验；其次，报表的显示模块，主要的作用是完成生产报表
的展示，可完成参数报表以及设备稼动率报表的生成等；第三，系统的集成模块，
主要的作用是对 MES 以及其他上游系统之间的集成进行负责；第四，数据当前
的收集模块，主要的作用是对于机台关键参数和作业数据以及报警信息还有设备
状态等相关数据去完成所需要的收集；第五，机台控制模块，主要的作用是负责
对于机台完成远程控制；第六，配方当前的管理模块，主要作用是完成对配方上
传下载和配方查询与配方复制等进行负责。
（三）EAP 系统作业流程
EAP 系统当前的一般作业流程主要涉及到的内容有 EAP 按照条码信息去完
成对产品信息的获取，多环节管理控制和信息的有效校验以及配方的有效获取和
自动加载，除此之外还包含了机台自动控制与数据的有效收集和信息的及时上报。
四、EAP 系统应用
以刻蚀设备作为例子，在现场作为设备的操作员只需要把晶圆按照具体的
要求在机台进行放置同时对于工单条码进行扫描，之后的作业就可以通过 EAP
系统直接自动的进行，同时在进行作业的同时可以对其采取实时展示作业信息的
方式。其能够在尺寸为 12 英寸的晶圆制造厂里，天车搬运系统则能够完成去替
代操作员以往所需要进行的上料和下料等基础操作，从而达成完全的替代人工而
执行智能无人工厂的生产模式。通过国内多家进行半导体生成企业相关项目的执
行，EAP 系统当前在半导体中起到的辅助生产作用十分的明显，在降低人员自身
的工作量和减少工作难度的过程中，能够使得设备当前的利用率以及产品良率得
到有效的保证。
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