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机械自动化设计与制造研究
Research on Mechanical Automation Design and Manufacturing

存储的特征代码字典和故障诊断树具体追踪、定位故障。这时，用特征代码分析
仪的探针在微机电路上进行迅速检测，直到找出故障特征代码，即可确定故障部
位。
据报道，特征代码分析仪对故障的检测率可达 99.998%。目前，微型计算机
使用的特征代码分析仪型号很多。美国 HP 公司生产的 HP-5006A 特征代码分析

仪能快速查找微机系统的故障，并将故障准确定位于插件、元件。

四、激光干涉仪

激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的（位置和几何）
精度校正。它与世界上其他名牌激光干涉仪一样，可完全按标准测量各项参数，
如线形位量精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平行度及平面度等。
其次，它还具有其他选择功能，如自动螺距误差补偿（适用大多数数控系统），
机床动态特性测量与评估，回转坐标分度精度标定，触发脉冲输入输出功能等，

这里以雷尼绍（RENISHAW）公司激光干涉仪为例，介绍其功能：
（一）自动螺距误差补偿
激光干涉仪不仅能自动测量机器的位置精度，而且还能通过 RS232 接口使

计算机和数控系统实现通信，对误差进行自动补偿，它比通常的手工补偿方法节
省了大量时间，同时可最大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到最佳精
度。
（二）回转坐标精度标定
回转坐标分度精度标定可对数控转台在任意角度位置，以任意测量间隔进

行全自动测量及补偿，其精度可达 ±1″。
（三）机床动态特性测试与评估
利用 RENISHAW 动态特性测量与软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试

与分析（FFT），滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导
轨的动态特性（低速爬行）分析等等，从而帮助用户对机器故障源进行分析。
（四）触发脉冲输入输出功能
利用触发脉冲输入，可实现外部控制激光干涉仪记录数据，从而可实现类
似于激光丝杠动态精度检查仪的功能或机床传动链精度检查功能。利用触发脉冲

输出，可用激光干涉仪定时或定距发出脉冲，从而实现类似于激光光刻机的功能。

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